[发明专利]一种多级降压收集极材料及其制备和表面处理方法

摘要

本发明公开了一种多级降压收集极材料及其制备和表面处理方法，涉及真空电子技术，是新型的可用于卫星行波管多级降压收集极的微孔电极材料及其处理工艺。本发明的电极材料具有微米、亚微米级的微孔结构，有利于抑制次级电子发射，提高多级降压收集极的回收效率，进而提高行波管的总效率。本发明的方法工艺过程简单、可控，成本低廉，制备的多级降压收集极电极表面特征与经离子束改性处理的表面具有等同的抑制二次电子发射的效果。

主权项

一种多级降压收集极材料，其特征在于，为M‑Cu合金，M和Cu粉体的粒径范围为2‑20μm；其M为难熔金属，为W、Mo或Re其中之一；Cu占总体积的40‑55％；材料经表面处理去铜后，表面2‑20μm深度范围内为具有微米、亚微米级的微孔结构。