[发明专利]两维大口径快速控制反射镜

摘要

两维大口径快速控制反射镜，适用于各种光学系统中驱动和稳定光束。所要解决的问题是，通过直线驱动装置驱动，满足反射镜口径大于250mm的要求，能有效地改善和提高快速控制反射镜的倾角范围和谐振频率。本发明通过四块分布的弹簧片和中心球铰，实现反射镜具有绕两轴柔性转动，其余自由度刚性固定；通过改进反射镜固定方式，并使两轴旋转中心和转动体重心合一，以及对支撑镜框和反射镜的轻量化设计，实现转动体的轻量化和绕轴转动惯量的最小化；通过对直线驱动装置和微位移位置传感器进行合理布局，实现整个结构紧凑，外形尺寸小。

主权项

1、两维大口径快速控制反射镜，其特征在于：由轻质反射镜(1)、支撑镜框(2)、直线驱动装置(3)、弹性悬浮支撑(4)、微位移位置传感器(5)和底座(6)组成；轻质反射镜(1)通过螺钉与支撑镜框(2)连接，直线驱动装置(3)的动子通过螺钉与支撑镜框(2)连接，有轻质反射镜(1)、支撑镜框(2)和直线驱动装置(3)的动子一起构成快速控制反射镜的转动体；转动体通过支撑镜框(2)与弹性悬浮支撑(4)连接，弹性悬浮支撑(4)将转动体和底座(6)连接起来；直线驱动装置(3)的定子和微位移位置传感器(5)固定在底座(6)上。