[发明专利]应力自补偿波导谐振腔及谐振式集成光学陀螺无效
| 申请号： | 200910077176.6 | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101477227A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 张春熹;于怀勇;冯丽爽;洪灵菲;刘惠兰;胡行 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34;G02B6/12;G01C19/72 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应力自补偿波导谐振腔及谐振式集成光学陀螺。属于光学探测领域。硅衬底，在硅衬底上设有缓冲层和二氧化硅层，二氧化硅层中设有掺磷二氧化硅环形波导，掺磷二氧化硅的环形波导上设有三个光耦合器，在掺磷二氧化硅环形波导上面涂覆补偿该环形波导应力的应力补偿层。这种结构的应力自补偿波导谐振腔，通过涂覆的应力补偿层可以很好的抵消二氧化硅层中的掺磷二氧化硅环形波导受环境温度变化产生的应力，从而避免因环境温度变化产生应力，对波导谐振腔的传播光的影响，达到提高使用该波导谐振腔的集成光学陀螺测量精度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 补偿 波导 谐振腔 谐振 集成 光学 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种应力自补偿波导谐振腔，其特征在于，该谐振腔包括：硅衬底，在硅衬底上设有缓冲层和二氧化硅层，二氧化硅层中设有掺磷二氧化硅环形波导，掺磷二氧化硅环形波导上设有三个光耦合器，在掺磷二氧化硅环形波导上面涂覆补偿该环形波导应力的应力补偿层。
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