[发明专利]光刻机投影物镜的温度控制装置有效
| 申请号： | 200910054733.2 | 申请日： | 2009-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN101609262A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 聂宏飞;黄友任;李小平;金敏;余小虎 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05D23/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王 洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括：至少一水套，该水套包括水套体和双螺旋缠绕在该水套体外壁的水管；用于感测该光刻机的投影物镜的温度的至少一温度传感器；分流集流板通过该分流集流管向该水套体的水管提供循环水并接收该水套体的水管内的回流水，该分流集流管上设置有用于控制该水管内的循环水流量的调节阀；循环水控制单元控制循环水的温度，并通过该传输管向该分流集流板提供循环水；投影物镜温度控制单元用于接收该温度传感器感测到的该投影物镜的温度，该投影物镜温度控制单元根据该投影物镜温度值调节该循环水控制单元提供的循环水的温度和该调节阀的打开程度。本发明的光刻机投影物镜的温度控制装置能够保证该投影物镜整体温度的均匀性与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 投影 物镜 温度 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机投影物镜的温度控制装置，其特征在于，该光刻机投影物镜温度控制装置包括：至少一水套，该光刻机的投影物镜设置于该水套内，该水套包括水套体和双螺旋缠绕在该水套体外壁的水管；邻近该光刻机的投影物镜设置的至少一温度传感器，该温度传感器用于感测该光刻机的投影物镜的温度；通过分流集流管与该水套的水管连通的分流集流板，该分流集流板通过该分流集流管向该水套的水管提供循环水并接收该水管内的回流水，该分流集流管上设置有调节阀，该调节阀用于控制该水管内的循环水的流量；通过传输管与该分流集流板连通的循环水控制单元，该循环水控制单元控制循环水的温度，并通过该传输管向该分流集流板提供循环水；用于接收该温度传感器感测值的投影物镜温度控制单元，该投影物镜温度控制单元根据该投影物镜温度值调整该循环水控制单元提供的循环水的温度和该调节阀的打开程度。
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