[发明专利]一种照明装置无效
| 申请号： | 200910049047.6 | 申请日： | 2009-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN101586748A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 储兆祥 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F21S2/00 | 分类号： | F21S2/00;F21V7/04;F21V19/00;F21Y101/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属光刻设备领域，尤其涉及一种照明装置。这种照明装置，包括光源，还包括凹面反射镜和凸面反射镜，且所述凹面反射镜和凸面反射镜同轴，所述凹面反射镜具有透光区和不透光区，所述光源至少为两个且设于以所述光轴为中心轴的同一圆周上，所述至少两个光源发出的光依次经所述凹面反射镜的不透光区和凸面反射镜反射后的出射光分别穿越凹面反射镜的透光区并汇聚于照明面。由于采用多光源汇集到同一照明面上，因此，可以提高照明面实际使用光功率，从而提高对准精度要求。由于多光源均布设置，因此可以提高对准系统中照明的均匀性，进而提高对准区域范围内的线性灵敏度，从而进一步提高对准精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明 装置 | ||
【主权项】：
1.一种照明装置，包括光源，其特征在于：还包括凹面反射镜和凸面反射镜，且所述凹面反射镜和凸面反射镜同轴，所述凹面反射镜具有透光区和不透光区，所述光源至少为两个且设于以所述光轴为中心轴的同一圆周上，所述至少两个光源发出的光依次经所述凹面反射镜的不透光区和凸面反射镜反射后的出射光分别穿越凹面反射镜的透光区并汇聚于照明面。
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