[发明专利]基于碳纳米管场效应晶体管的生物检测器件的制造方法

摘要

本发明涉及一种基于非共价修饰单壁碳纳米管的场效应晶体管生物检测器件的制造方法，属于纳电子器件制造和生物分析检测技术领域。具体步骤如下：将单壁碳纳米管(束)搭建在以光刻技术在表面含有绝缘氧化层的硅基底上制作出的叉指源、漏电极之间，构造基于碳纳米管的场效应晶体管。对碳纳米管表面非共价糖基化生物修饰，得到用于糖-蛋白特异性识别作用检测的碳纳米管场效应管器件。本发明中可选择修饰不同糖分子分别检测不同糖配体和受体间特异性结合行为，从而构成通用、灵敏、高效的碳纳米管场效应管生物检测器件。

主权项

1. 一种基于碳纳米管场效应晶体管的生物检测器件的制造方法，其特征在于，采用光刻技术在表面含有绝缘氧化层的硅基底上制作叉指金电极作为场效应晶体管器件的源、漏电极，将单壁碳纳米管(束)搭建在源、漏电极之间作为导通沟道，以Si基底作为栅极，构造基于碳纳米管的场效应晶体管；对碳纳米管束表面非共价糖基化生物修饰，得到了用于糖—蛋白特异性识别检测的单壁碳纳米管场效应管生物检测器件，选择修饰不同糖分子可分别检测不同糖配体和受体间特异性结合行为；该方法主要包括以下步骤：1)将单壁碳纳米管进行纯化处理，并以1，2-二氯乙烷分散，制成稳定分散的碳纳米管极稀溶液；2)在表面含有绝缘层的硅片上采用光刻技术制作出叉指电极对图案，作为场效应晶体管器件的源、漏电极；3)将分散好的碳纳米管溶液滴在经步骤2制成的叉指电极对表面，使碳纳米管(束)在溶剂挥发后搭建在源漏电极之间；4)施加+10V的栅压，同时施加较大直流偏压，烧蚀金属性碳纳米管，保留半导体性碳纳米管，得到基于碳纳米管(束)的场效应晶体管器件；5)选出性能良好的器件于室温下静置于糖基两亲化合物十八烷基糖酰胺水溶液中浸泡，得到非共价糖基化的碳纳米管场效应晶体管器件；6)糖基化的器件浸入凝集素/磷酸盐缓冲溶液(PBS)培育，制得可检测糖-凝集素特异性识别的碳纳米管场效应晶体管生物检测器件。