[发明专利]提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法

摘要

本发明涉及一种提高谐振式超薄悬臂梁传感器的表面应力敏感方法，属于微机械传感技术领域。具体特征是在超薄的谐振式悬臂梁的上、下表面上均自组装生长能够进行选择特异性识别的单分子敏感膜，当敏感分子与待检测的目标分子特异性结合后，目标分子之间的相互作用在悬臂梁的表面上产生了表面应力，上下表面应力的共同作用导致悬臂梁的弹性系数发生变化，从而改变了悬臂梁的固有谐振频率，通过测量谐振频率的变化即可实现对目标分子的检测。同传统的利用质量吸附方法进行敏感测试相比，利用这种表面应力敏感的方法进行生化痕量测试，其灵敏度可以提高一个数量级。本发明特点是原理简单、灵敏度高、容易实现。

主权项

1、一种提高谐振式超薄悬臂梁传感器的表面应力敏感方法，其特征在于：(1). 悬臂梁传感器的上、下表面上通过自组装都生长一层单分子敏感膜，且敏感分子与待测的目标分子发生特异性结合；(2). 当敏感分子与待检测的目标分子特异性结合后，目标分子之间的相互作用能够在悬臂梁的上下表面产生了表面应力；(3). 上下表面应力的共同作用导致悬臂梁的弹性系数发生变化，从而改变了悬臂梁传感器的谐振频率；通过对谐振频率漂移的监测实现对敏感痕量的目标分子的检测。