[发明专利]翻斗式蚀刻机

摘要

本发明公开了一种翻斗式蚀刻机，包括翻斗装置、动力装置、主动件、从动件、加热装置及控制装置，主动件一端与动力装置连接，被动力装置驱动，动力装置及加热装置分别与控制装置电连接，控制装置与外界电源电连接，翻斗装置包括机座、翻斗及限位块，机座上设有支点，翻斗枢接于支点上，可沿一旋转轴转动，限位块设置于旋转轴两侧并低于支点的位置，从动件固定于翻斗装置的翻斗上，主动件与从动件间歇式接触配合，带动从动件及翻斗上升、下降及跌落，翻斗具有用于盛放蚀刻液的斗槽，斗槽的壁为中空结构，壁内形成加热槽，加热槽内容纳加热装置及加热液体。整个斗槽在做翻转过程时，有一半行程的翻转是依靠溶液槽内液体的流动所带来的重心的偏移，致使斗槽自动做翻转运动，并且溶液槽内的溶液产生一定的流速及冲刷力，使得本发明蚀刻精度高且成本低。

主权项

一种翻斗式蚀刻机，包括翻斗装置、动力装置、主动件、从动件、加热装置及控制装置，所述主动件一端与所述动力装置连接，被所述动力装置驱动，所述动力装置及加热装置分别与所述控制装置电连接，所述控制装置与外界电源电连接，其特征在于：所述翻斗装置包括机座、翻斗及限位块，所述机座上设有支点，所述翻斗枢接于所述支点上，可沿一旋转轴转动，所述限位块设置于所述旋转轴两侧并低于所述支点的位置，所述从动件固定于所述翻斗装置的翻斗上，所述主动件与所述从动件间歇式接触配合，带动所述从动件及翻斗上升、下降及跌落，所述翻斗具有用于盛放蚀刻液的斗槽，所述斗槽的壁为中空结构，壁内形成加热槽，所述加热槽内容纳所述加热装置及加热液体。