[发明专利]一种多晶锭的生产方法无效

专利信息
申请号: 200910035670.6 申请日: 2009-09-30
公开(公告)号: CN101696514A 公开(公告)日: 2010-04-21
发明(设计)人: 陈雪;黄强;黄振飞 申请(专利权)人: 常州天合光能有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B15/10;C03B20/00;C30B29/06;C01B33/021
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 213031 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种多晶锭的生产方法:配制氢氧化钡或钡的盐类的溶液作为涂覆液;石英陶瓷坩埚进行预热;预热后的石英陶瓷坩埚的内表面均匀地涂覆氢氧化钡或钡的盐类的涂覆液,再进行烘焙;石英陶瓷坩埚烘焙后在其内表面进行氮化硅的喷涂和烘烤;硅料装入石英陶瓷坩埚,放进多晶炉内,多晶炉抽真空并加入保护气体,硅料加热熔化;通过定向凝固,使熔化的硅料从底部到上部逐渐结晶,最后高温退火,形成用于切片做电池的多晶锭;将晶锭切成硅片,通过制绒,扩散,边缘刻蚀,PECVD镀膜,丝网印刷、烧结做成电池片,测试分档。坩埚内的涂层,抑制坩埚内部杂质向硅料扩散,提高靠近坩埚部位的少子寿命、晶锭利用率和电池转换效率。
搜索关键词: 一种 多晶 生产 方法
【主权项】:
一种多晶锭的生产方法,该生产方法如下:(一)、配制氢氧化钡或钡的盐类的溶液作为涂覆液;(二)、将石英陶瓷坩埚进行预热;(三)、在预热后的石英陶瓷坩埚的内表面上均匀地涂覆氢氧化钡或钡的盐类的涂覆液,对氢氧化钡或钡的盐类的涂覆液进行烘焙;(四)、石英陶瓷坩埚烘焙后再在其内表面进行氮化硅的喷涂和烘烤;(五)、将硅料装入石英陶瓷坩埚,放进多晶炉内,将多晶炉抽真空并加入保护气体,将硅料加热熔化;(六)、通过定向凝固,使熔化的硅料从底部到上部逐渐结晶,最后高温退火,形成用于切片做电池的多晶锭;(七)、将晶锭切成硅片,通过制绒,扩散,边缘刻蚀,PECVD镀膜,丝网印刷、烧结做成电池片,测试分档。
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