[发明专利]彩色光刻胶的清洗剂有效
| 申请号： | 200910026138.8 | 申请日： | 2009-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101520612A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 顾奇;朱海盛 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞晶化学有限公司;苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215128江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种彩色光刻胶的清洗剂，其配方：1～10wt％无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物，0.1～10wt％聚氧乙烯醚，0.01～0.1wt％聚醚多元醇，80～96％纯水。采用科学的配方，配制的清洗剂能够安全环保的清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶，保证正常生产，应用极为方便。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 光刻 洗剂 | ||
【主权项】：
1. 彩色光刻胶的清洗剂，其特征在于其组分具有如下的重量百分比：1～10wt％无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物，0.1～10wt％聚氧乙烯醚，0.01～0.1wt％聚醚多元醇，80～96％纯水。
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