[发明专利]可变陶瓷真空电容器结构改良有效
| 申请号： | 200910026000.8 | 申请日： | 2009-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101840782A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 尹剑平;黄浩;黄清河;张立云;方涛;赖萍南;王淮飞 | 申请（专利权）人： | 昆山国力真空电器有限公司 |
| 主分类号： | H01G5/16 | 分类号： | H01G5/16 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215301 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒、调节螺杆、调节螺母、拉杆、定位导套、波纹管、电极和外壳，调节螺杆一端与传动件固连，另一端与调节螺母自由啮合，调节螺母与拉杆一端固连，拉杆另一端与电极一端固连，拉杆外侧套设有定位导套，定位导套一端与外壳内壁固连，定位导套外侧套设有波纹管，套筒套设于调节螺杆和调节螺母外侧并与外壳固连，定位导套、套筒和拉杆上分别设有至少一个气孔，可快速释放因摩擦产生的热量，使滑动更顺畅，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命提高到两百万次以上，从而提高了可变陶瓷真空电容器的使用周期，降低半导体加工设备的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 陶瓷 真空 电容器 结构 改良 | ||
【主权项】：
一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒(1)、调节螺杆(2)、调节螺母(3)、拉杆(4)、定位导套(5)、波纹管(6)、电极(7)和外壳(8)，调节螺杆(2)一端与传动件固连，另一端与调节螺母(3)自由啮合，调节螺母(3)与拉杆(4)一端固连，拉杆(4)另一端与电极(7)一端固连，拉杆(4)外侧套设有定位导套(5)，定位导套(5)一端与外壳(8)内壁固连，定位导套(5)外侧套设有波纹管(6)，套筒(1)套设于调节螺杆(2)和调节螺母(3)外侧并与外壳(8)固连，其特征为：定位导套(5)、套筒(1)和拉杆(4)上分别设有至少一个气孔(9)。
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