[发明专利]半导体器件测试分选机的旋转工作台无效
申请号: | 200910025717.0 | 申请日: | 2009-03-06 |
公开(公告)号: | CN101504295A | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 贡瑞龙;陆军;梁天贵 | 申请(专利权)人: | 江都市东元机电设备有限公司 |
主分类号: | G01D11/00 | 分类号: | G01D11/00;B07C5/00 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 | 代理人: | 江 平 |
地址: | 225200*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了半导体器件检测技术领域内的半导体器件测试分选机的旋转工作台,包括水平设置的转台,转台下侧中心设有转轴,转轴与一电机的轴端传动连接,转轴上套装有弹性抵触在转台下端面上的进气座,进气座侧面设有至少一个吸嘴,转台四周分布有若干可容纳半导体器件的大孔,大孔下侧设有上下贯穿转台的小孔,进气座上设有若干接通吸嘴并与小孔一一对应的气道;转台上侧周向呈上小下大的锥面,大孔轴线穿过所述锥面的轴线并垂直于锥面的母线设置。使用时,将激光头和图像摄像头设置在大孔的轴线方向上,激光头和图像摄像头不会相互干涉,转台和电机的尺寸小,可节约成本。该装置可用于半导体器件的检测和分选。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 测试 分选 旋转 工作台 | ||
【主权项】:
1、半导体器件测试分选机的旋转工作台,包括水平设置的转台,转台下侧中心设有转轴,转轴与一电机的轴端传动连接,转轴上套装有弹性抵触在转台下端面上的进气座,进气座侧面设有至少一个吸嘴,转台四周分布有若干可容纳半导体器件的大孔,大孔下侧设有上下贯穿转台的小孔,进气座上设有若干接通吸嘴并与小孔一一对应的气道;其特征在于:所述转台上侧周向呈上小下大的锥面,大孔轴线与所述锥面的轴线相交,同时,大孔轴线垂直于与其所相交的锥面的母线。
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