[发明专利]曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具

摘要

本发明公开了一种曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具，首先用一个专用曲面样品装卡工具装卡曲面样品；然后调节样品安装板的位置及前后倾角，并调节曲面样品装卡工具旋转机构的左右倾角，使磨削球能够接触到曲面样品被测曲面；采用与平面样品同样的方法对曲面样品被测曲面两个曲率半径相同的不同的点进行磨削，得两个大小不同的椭圆磨痕；测量磨痕膜/基结合处和涂层表面的长轴尺寸，利用本发明推导的计算公式即可获得涂层的厚度及误差范围。采用本发明所设计的样品装卡工具，利用现有球磨法测平面样品涂层厚度的设备可精确的测量曲面样品涂层厚度，操作方便、测量成本低。

主权项

1、一种曲面样品基底涂层厚度的测量方法，其特征在于，包括下述步骤：第一步，将一个专用曲面样品装卡工具的底板连接在平面样品涂层厚度测量装置的样品安装板上，底板上设有带样品装卡块的左右旋转机构，曲面样品安装在样品装卡块的直槽中；第二步，调节样品安装板的位置及前后倾角，并调节曲面样品装卡工具旋转机构的左右倾角，使磨削球能够接触到曲面样品被测曲面的一点；第三步，启动电机，采用与平面样品同样的方法对曲面样品被测曲面点进行磨削，得第一个磨痕；第四步，重复第二步，第三步的方法，使磨削球能够接触到曲面样品被测曲面与第一点曲率半径相同的另一点；磨削后得第二个磨痕；第五步，磨削后得到的两个不同磨痕，在显微镜下为两个椭圆磨痕，在膜/基结合处和涂层表面的长轴分别是2r11，2r21and 2r12，2r22，则涂层厚度t用下面的公式计算：式(1)中：式(1)～式(3)中：其中R为磨削球的半径。