[发明专利]接触式计测装置有效
| 申请号： | 200910007314.3 | 申请日： | 2009-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN101532818A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 洪荣杓;蛯原建三;山本明;羽村雅之 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及接触式计测装置。本发明是利用压缩空气的力和永久磁铁与磁性体的吸力来进行探针的接触力调整的接触式计测装置。该计测装置控制探针主体内的流体压力并对探针施加拉力或推压力，另外，在安装在探针主体上装有的测微计的可动部前端的永久磁铁与安装在与接触头相反一侧的端部的板状部件之间产生与这些永久磁铁与板状部件之间的距离相应的吸力。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 式计测 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种接触式计测装置，其在探针的接触头与计测对象的面已接触的状态下，利用该探针的位移进行计测，其特征在于，具有：用流体轴承支撑上述探针的探针主体，控制上述探针主体内的流体压力并对上述探针施加拉力或推压力的流体压力控制机构，安装在上述探针主体上的距离调整机构；在上述距离调整机构的可动部上安装有永久磁铁，另一方面，在上述探针的与接触头相反一侧的端部安装有在与上述永久磁铁之间产生斥力或吸力的部件。
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