[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法

摘要

提供一种图案描绘装置及图案描绘方法，目的在于即使在以具有多个描绘对象区域的基板为对象时也能够减少曝光扫描的次数，并能够在感光材料上容易地描绘多种规则图案和宽度。在曝光头(30a～30d)分别对第一扫描区域(As1)至第四扫描区域(As4)进行曝光扫描时，预先在掩模上形成宽度与各扫描区域的描绘对象区域的宽度分别对应的单位图案组(SLG)。结果，即使在一个扫描区域(As)内包含一个扫描对象区域(At)的一部分，也不需要像以往那样使用各种机构进行调整，并且，即使在一个扫描区域内包含相邻的两个扫描对象区域各自的一部分(即在一个扫描区域中包含整个间隙区域)，也不需要对同一扫描区域进行两次曝光扫描。

主权项

1. 一种图案描绘装置，在形成有感光材料的基板的多个描绘对象区域分别描绘规则图案，其特征在于，具有：光源，掩模装置，其形成有单位图案组，上述单位图案组使来自上述光源的光通过，在上述基板上形成作为规定的像的一部分的单位像，并且上述单位图案组的多个开口部在副扫描方向上规则地排列，多个曝光装置，将通过上述掩模装置的上述开口部的光间歇地照射到上述基板上的感光材料上，从而对图案进行曝光，主扫描装置，其使上述基板相对于上述曝光装置在主扫描方向上相对移动，副扫描装置，其使上述基板相对于上述曝光装置在副扫描方向上相对间歇地移动，掩模移动装置，其使上述掩模装置在主扫描方向及/或副扫描方向上移动，以使上述掩模装置的上述开口部配置在规定的位置，上述单位图案组在上述掩模装置上至少形成两种以上，对应于由上述主扫描装置及/或上述副扫描装置驱动的上述基板的移动，通过上述掩模移动装置来移动上述掩模装置，在形成于上述掩模装置上的上述单位图案组中选择一个进行曝光。