[发明专利]具冷却效果的转轴装置

摘要

一种具冷却效果的转轴装置，包含一个轴座单元与一支轴杆，轴座单元包括一个穿设于真空腔体的中空基座、分别安装于基座内的一个气密衬套与至少一个轴承，及一个套置于基座外且与基座相配合界定出一个环绕基座的冷却空间的冷却套管，且基座穿设有分别与冷却空间连通的一个注水孔与一个排水孔。轴杆是贯穿气密衬套与轴承地延伸入中空腔体内，并可被驱动而绕自体轴心枢转。透过该转轴装置具有可输入冷却液进行冷却降温的冷却空间的结构设计，可使转轴装置在真空腔体作业期间，能够保持在一预定温度范围，可大幅降低其热膨胀变形量，而保有气密效果。

主权项

一种具冷却效果的转轴装置，适用于安装在一个真空腔体上，该真空腔体具有一个界定出一个真空容室的腔壁，该腔壁穿设有一个连通真空容室的插孔，该转轴装置是穿设固定于该插孔中，其特征在于：该转轴装置包含一个轴座单元及一支安装于轴座单元的轴杆，该轴座单元包括一个安装于腔壁上并贯穿插孔地延伸入真空容室内的中空的基座、一个安装于基座内的中空的气密衬套、至少一个安装于基座内的轴承，及一个套置于基座外且与基座外周面相配合界定出一个环绕基座的中空的冷却空间的冷却套管，且该基座位于真空腔体外的部位穿设有一个用以将冷却液注入冷却空间的注水孔，及一个用以供冷却空间中的冷却液排出的排水孔，该轴杆是安装于该轴承中且气密贯穿该气密衬套地延伸入真空容室内，并能够被驱动而绕自体轴心枢转。