[发明专利]弹性表面波装置有效
| 申请号： | 200880121753.0 | 申请日： | 2008-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101904095A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 木村哲也;门田道雄;矢追真理 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种弹性表面波装置，其通过形成SiO2膜，能够实现频率温度特性的改善，且不容易产生插入损耗的增大，不仅能够使得电极的反射系数充分大，也能抑制不希望的所述寄生现象，由此能够得到更良好的谐振特性或滤波特性。在LiNbO3基板(1)的上表面(1a)形成有多条槽(1b)，在槽(1b)内形成有以Pt为主体的IDT电极(3)，覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)及IDT电极(3)而形成有SiO2层(4)，并且SiO2层(4)的表面被平坦化，利用基于瑞利波的响应，且LiNbO3基板的欧拉角处于(0°±5°，208°～228°，0°±5°)的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 装置 | ||
【主权项】：
一种弹性表面波装置，具有：压电基板，其在上表面形成有多条槽；IDT电极，其以在所述槽内形成的Pt为主体；SiO2层，其覆盖所述压电基板及IDT电极而形成且上表面平坦，所述弹性表面波装置的特征在于，利用在所述压电基板中被激振的瑞利波产生的响应，所述压电基板是欧拉角处于(0°±5°，208°～228°，0°±5°)范围内的LiNbO3基板。
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