[发明专利]兰姆波谐振器有效
| 申请号： | 200880112609.0 | 申请日： | 2008-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101953072A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | D·贝洛;A·卡特兰;A·A·施拉卡拉;J-M·潘;P·雅里;E·克雷尔夫 | 申请（专利权）人： | 国立科学研究中心 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张扬;王英 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： |
兰姆波谐振器(100)，包括至少一个压电层(102)和靠着压电层(102)的第一面放置的第一电极(106)，第一电极的图案在与压电层(102)的第一面所在平面平行的平面上并包括至少两个手指(108)和接触臂(110)，其中每个手指都包括一个与所述臂接触的第一边和相互平行且相隔距离W的另外两边，W由以下公式计算： |
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| 搜索关键词： | 兰姆波 谐振器 | ||
【主权项】：
兰姆波谐振器(100、200、300、400、500、600、700)包括：基于至少一种压电材料的至少一个层(102)和靠着该压电层(102)的第一面放置的第一电极(106、206、306、406、506)；所述第一电极在与所述压电层(102)的第一面所在平面平行的平面上的图案包括：至少两个手指(108、408)和接触臂(110、310、510)，其中每个手指(108、408)包括与所述臂(110、310、510)接触的第一边和相互平行且相隔距离W的另外两边，W按下面公式计算： W = n · va lateral f , 其中n∈Nvalateral：兰姆波的声传播速度，n：兰姆波谐振模式的阶数，f：谐振器的谐振频率；以及所述压电层(102)的一些部分(114、116、602)是经过至少部分蚀刻的，其表面与所述压电层(102)的第一面所在平面处于同一水平并位于所述第一电极(106、206、306、406、506)的手指(108、408)之间。
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