[发明专利]快速扫描的扫描探针显微镜以及对其进行操作的方法有效
| 申请号： | 200880110612.9 | 申请日： | 2008-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN101960287A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 克雷格·普拉特;苏全民;恩吉·方;杰弗里·马卡基斯;克雷格·库斯沃西;史建;约翰尼斯·金特;史蒂文·内格尔;樊文峻 | 申请（专利权）人： | 威科仪器公司 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李春晖;李德山 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种能够在力控制反馈下对任意特性的较大样品进行迅速扫描以获得高分辨率图像的方法和装置。该方法包括：在扫描探针显微镜(SPM)的探针(215)与样品(112)之间产生相对扫描移动，以至少30行/秒的速率将探针扫描通过至少4微米的扫描范围；以及用至少1mm/sec的力控制回转速率来控制探针-样品的相互作用。能够获得这些结果的优选SPM具有至少具有闭环带宽的力控制带宽的力控制器，所述闭环带宽至少为10kHz。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 扫描 探针 显微镜 以及 进行 操作 方法 | ||
【主权项】：
一种用于操作(SPM)扫描探针显微镜的方法，包括：在SPM的探针与样品之间产生相对扫描移动，以按至少30行/秒的速率将所述探针相对于所述样品扫描通过至少为4μm的扫描范围，以及用至少1mm/sec的力控制回转速率来控制探针‑样品的相互作用。
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