[发明专利]微波等离子体发生设备和等离子体炬有效
| 申请号： | 200880107802.5 | 申请日： | 2008-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101803471A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | Z·扎科泽斯基;M·穆伊桑;D·介朗;J-C·罗斯坦 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体发生设备，其包括至少一个甚高频源(＞100MHz)，所述甚高频源经由阻抗适配设备而被连接到附在电介质衬底上的细长导体；至少一个用于冷却所述导体的装置；以及至少一个气体供给，其位于所述电介质衬底的与支撑所述导体的一侧相反的一侧的附近。本发明还涉及使用所述设备的等离子体炬。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 发生 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子体发生器设备(1)，其包括：具有100MHz以上的频率的至少一个功率源，所述源经由阻抗匹配系统而被连接到细长导体(2)，所述细长导体在其整个下表面的范围内被以紧密接触的方式固定到电介质支撑物(3)；至少一个用于冷却所述导体的装置；以及至少一个气体进口，所述气体进口靠近所述电介质支撑物的与支撑所述导体的一侧相反的一侧。
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