[发明专利]用于微影曝光工具的碳氢化合物收集器有效
| 申请号： | 200880021970.2 | 申请日： | 2008-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101779166A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | O·R·伍德三世 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明系于曝光工具中的光学元件的碳污染可藉由加入碳氢化合物收集器而最小化。实施例包含超紫外线(extreme ultraviolet，EUV)微影工具，该微影工具设有包含基板(10、11)与高能量源(诸如，电子枪或独立EUV源)之至少一个碳氢化合物收集器，该高能量源放置以集中具有足够能量的能量束于基板(10、11)上，以破坏重碳氢化合物且形成碳。实施例亦包含曝光工具，该曝光工具备有包括能量源的碳氢化合物收集器，该能量源放置以照射能量束于石英晶体厚度监视器(10、11)、残余气体分析器及控制器上，以控制电子流且将该系统中碳氢化合物的量维持在预定的低程度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 曝光 工具 碳氢化合物 收集 | ||
【主权项】：
一种微影曝光装置，包括碳氢化合物收集器。
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