[发明专利]用于校准扫描头部的装置和方法有效
| 申请号： | 200880021104.3 | 申请日： | 2008-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN101711343A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 琼-路易斯·格热西亚克;詹姆斯·阿尔希·沙巴尼 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明描述一种利用参照物体(40；60；80)来校准位于马达驱动的活动连接的扫描头部(16)中的角度测量标尺的方法。所述方法包括使安装在扫描头部(16)上的表面感测设备例如扫描探头(28)围绕扫描头部(16)的至少一个轴线(A1，A2)转动，从而使所述表面感测设备相对于参照物体(40；60；80)运动到多个不同的角度方位。然后进行在每个不同的角度方位使用所述表面感测设备测量参照物体(40；60；80)的至少一个性能的步骤。然后使用测量的参照物体(40；60；80)的性能和参照物体(40；60；80)的任选地已知的或校准的性能，建立扫描头部的至少一个测量标尺的误差图或函数。所述方法可以包括使用坐标定位仪例如坐标测量仪(14)来使扫描头部(16)运动。参照物体(40；60；80)可以包括单个特征或特征阵列(46；66)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校准 扫描 头部 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种利用参照物体来校准位于扫描头部中的测量标尺的方法，所述方法包括以下步骤：(i)使安装在所述扫描头部上的表面感测设备围绕所述扫描头部的至少一个轴线转动，从而使所述表面感测设备相对于所述参照物体运动到多个不同的角度方位；(ii)在步骤(i)的每个不同的角度方位，使用所述表面感测设备测量所述参照物体的至少一个性能；以及(iii)使用步骤(ii)中测量的所述参照物体的性能，建立所述扫描头部的至少一个测量标尺的误差图或函数。
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