[发明专利]有机薄膜清洗用溶剂有效

专利信息
申请号: 200880020586.0 申请日: 2008-07-04
公开(公告)号: CN101679923A 公开(公告)日: 2010-03-24
发明(设计)人: 熊泽和久;岛田干也 申请(专利权)人: 日本曹达株式会社
主分类号: C11D7/50 分类号: C11D7/50;C11D7/24
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 蒋 亭;苗 堃
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种能形成膜成分脱落少的薄膜的清洗用溶剂。该有机薄膜的清洗用溶剂的特征为,通过KOH使正十八烷基三甲氧基硅烷水解缩聚而得到的聚合物在25℃的溶解度为100~400mg/g。该溶剂优选是含有至少1种式(I)所示化合物的芳香族烃系溶剂,特别优选是二乙基苯、Solvesso(注册商标)。如图(I)(式中,各R可以相同或不同,表示C1-C18烷基;n表示2、3或4。)
搜索关键词: 有机 薄膜 清洗 溶剂
【主权项】:
1.一种有机薄膜的清洗用溶剂,其特征在于,通过KOH使正十八烷基三甲氧基硅烷水解缩聚而得到的聚合物在25℃的溶解度为100~400mg/g。
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