[发明专利]弹性表面波装置

摘要

本发明提供一种弹性表面波装置，其为采用了LiTaO₃基板的弹性波表面装置，IDT的反射系数大且电气机械结合系数较大，可得到良好的共振特性、滤波器特性。一种弹性表面波装置1，其在LiTaO₃基板2的上面2a上形成多条槽2b，并设置了具有由填充于多条槽2b中的金属构成的多根电极指的IDT3，构成该IDT3的金属在该金属的密度为ρ、刚度为C₄₄时，满足下述式(1)：(ρ³×C₄₄)^1/2＞1.95×10¹¹ …式(1)。

主权项

1.一种弹性波表面装置，其特征在于，其具备压电基板和IDT，所述压电基板由LiTaO3基板构成并在上面形成有多条槽，所述IDT具有由填充于所述压电基板的上面的多条槽中的金属所构成的电极指，当所述金属的密度为ρ(kg/m3)、刚度为C44(N/m2)时，所述金属满足下述式(1)所示的条件，(ρ3×C44)1/2＞1.95×1011 …式(1)