[实用新型]300mm立式氧化炉保温桶有效
| 申请号： | 200820234107.2 | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201382699Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本实用新型适用于立式氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 300 mm 立式 氧化 保温桶 | ||
【主权项】：
1、一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。
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