[实用新型]单晶炉真空系统过滤器无效
申请号: | 200820232273.9 | 申请日: | 2008-12-25 |
公开(公告)号: | CN201329229Y | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
发明(设计)人: | 陈立民;邸素艳;王存;商健;赵极;潘强;张新伟;闫卫东;李正川 | 申请(专利权)人: | 锦州日鑫硅材料有限公司 |
主分类号: | B01D46/08 | 分类号: | B01D46/08;B01D46/52;F04B39/16 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 | 代理人: | 李 辉 |
地址: | 121000辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种单晶炉真空系统过滤器,解决了现有的过滤器过滤效果不好,易将单晶炉中的氧化物经过过滤网布带入真空泵中,影响产品质量的问题。它由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成,其特殊之处是:所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。由于过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置,可增大过滤面积,提高过滤效果,从而防止单晶炉中的氧化物进入真空泵中,确保产品质量。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 真空 系统 过滤器 | ||
【主权项】:
1、一种单晶炉真空系统过滤器,由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成,其特征是:所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。
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