[实用新型]单晶炉真空系统过滤器无效

专利信息
申请号: 200820232273.9 申请日: 2008-12-25
公开(公告)号: CN201329229Y 公开(公告)日: 2009-10-21
发明(设计)人: 陈立民;邸素艳;王存;商健;赵极;潘强;张新伟;闫卫东;李正川 申请(专利权)人: 锦州日鑫硅材料有限公司
主分类号: B01D46/08 分类号: B01D46/08;B01D46/52;F04B39/16
代理公司: 锦州辽西专利事务所 代理人: 李 辉
地址: 121000辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种单晶炉真空系统过滤器,解决了现有的过滤器过滤效果不好,易将单晶炉中的氧化物经过过滤网布带入真空泵中,影响产品质量的问题。它由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成,其特殊之处是:所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。由于过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置,可增大过滤面积,提高过滤效果,从而防止单晶炉中的氧化物进入真空泵中,确保产品质量。
搜索关键词: 单晶炉 真空 系统 过滤器
【主权项】:
1、一种单晶炉真空系统过滤器,由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成,其特征是:所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。
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