[实用新型]一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备有效
申请号: | 200820213580.2 | 申请日: | 2008-11-19 |
公开(公告)号: | CN201324912Y | 公开(公告)日: | 2009-10-14 |
发明(设计)人: | 高云峰;陈明金;吴志宏;倪鹏玉;谢建;李世印;郑国云 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/40;B23K26/08;B23K37/053 |
代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杜启刚 |
地址: | 518053广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备,包括X轴运动系统、Y轴运动系统、Y轴机座、工件夹具、机座和光路系统,所述的X轴运动系统安装在机座上,Y轴机座通过立柱安装在机座的上方;Y轴运动系统安装在Y轴机座的下面,工件夹具以悬挂方式安装在Y轴运动系统的下面,光路系统的工作组件位于工件夹具的下方并分别安装在X轴运动系统或机座上。本实用新型结合进料系统和出料系统,可以大大提高非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备的自动化程度,降低操作者劳动强度,提高非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 非晶硅 薄膜 太阳能电池 激光 刻划 设备 | ||
【主权项】:
1.一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备,包括X轴运动系统、Y轴运动系统、Y轴机座、工件夹具、机座和光路系统,其特征在于,所述的X轴运动系统安装在机座上,Y轴机座通过立柱安装在机座的上方;Y轴运动系统安装在Y轴机座的下面,工件夹具以悬挂方式安装在Y轴运动系统的下面,光路系统的工作组件位于工件夹具的下方并分别安装在X轴运动系统或机座上。
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