[实用新型]一种单晶炉热场装置无效
| 申请号： | 200820169836.4 | 申请日： | 2008-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN201305646Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 田党军;钟小平 | 申请（专利权）人： | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 311227浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种熔融单晶硅炉装置，尤其是涉及圆筒式石墨加热器，多层保温装置，按圆柱体形多晶硅结晶特性，自动调节产品结晶过程，并且节能的一种单晶炉热场装置，包括外壳、坩埚、电极、驱动装置，外壳为圆管形，外壳内设有碳纤维保温棉，紧贴碳纤维保温棉设一保温筒，保温筒内设一石墨加热器，石墨加热器内设一三瓣坩埚，三瓣坩埚中放置一石英坩埚，单晶硅置于石英坩埚内，石墨加热器通电后加热，高温下单晶硅在石英坩埚内结晶并上拉，坩埚体在电机作用下配合其下移，达到多层保温、均匀结晶的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉热场 装置 | ||
【主权项】：
1、一种单晶炉热场装置，包括外壳、坩埚、电极、驱动装置，其特征是所述的外壳(1)为圆管形，外壳内设有碳纤维保温棉(2)，紧贴碳纤维保温棉内设一保温筒(3)，保温筒内设一石墨加热器(4)，石墨加热器内设一坩埚。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江舒奇蒙能源科技有限公司，未经浙江舒奇蒙能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820169836.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有非点收差补正功能的自励式LD光学头
- 下一篇：聚焦超声探头
