[实用新型]硅晶体生长设备的尾气导走装置无效
| 申请号： | 200820162766.X | 申请日： | 2008-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN201241193Y | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 李乔;马远 | 申请（专利权）人： | 浙江碧晶科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 312300浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅晶体生长设备的尾气导走装置，包括入口端并联接入硅晶体生长炉的尾气出口的真空管路系统和尾气处理管路系统，真空管路系统的出口端和尾气处理管路系统的出口端均接入喷淋系统；所述的真空管路系统从入口端至出口端依次包括通过管路连接的除尘筒、真空泵和油烟净化器；所述的尾气处理管路系统从入口端至出口端依次包括通过管路连接的除尘器和风机。本实用新型装置主要用于硅拉晶炉的改造。尾气导走装置可有效地解决P、Sb、As污染物在生产过程中和停炉开炉后的排放问题，保证设备和人员的安全，并且结构简单，能够减少拉晶炉的冷却工序时间和停炉时间，适合当前常用的硅拉晶炉的改造。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 设备 尾气 装置 | ||
【主权项】：
1、一种硅晶体生长设备的尾气导走装置，包括入口端并联接入硅晶体生长炉的尾气出口的真空管路系统(3)和尾气处理管路系统(4)，真空管路系统(3)的出口端和尾气处理管路系统(4)的出口端均接入喷淋系统(5)；所述的真空管路系统(3)从入口端至出口端依次包括通过管路连接的除尘筒(7)、真空泵(8)和油烟净化器(9)；所述的尾气处理管路系统(4)从入口端至出口端依次包括通过管路连接的除尘器(10)和风机(12)。
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