[实用新型]直拉单晶炉用石墨坩埚有效
| 申请号： | 200820156013.8 | 申请日： | 2008-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN201317827Y | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 施美生;戴士隽 | 申请（专利权）人： | 上海九晶电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈学雯 |
| 地址： | 201617*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种直拉单晶炉用石墨坩埚，包括石墨坩埚本体，所述石墨坩埚本体包括三瓣块体，石墨坩埚内壁的三瓣块体的接口处的弯曲部为“R”部，其特征在于：所述石墨纸覆盖于三瓣接口处“R”部的位置。所述石墨纸的面积大于接口处“R”部；所述石墨纸的面积与石墨坩埚的大小相匹配。本实用新型延长三瓣埚的使用寿命20％以上；增加单晶硅产量2％以上，因避免了在生产过程中三瓣埚开裂而使单晶生长终止现象的发生；具有操作简单、改装方便、成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉单晶炉用 石墨 坩埚 | ||
【主权项】：
1、一种直拉单晶炉用石墨坩埚，包括石墨坩埚本体，所述石墨坩埚本体包括三瓣块体，石墨坩埚内壁的三瓣块体的接口处的弯曲部为“R”部，其特征在于：所述石墨坩埚本体内壁位于三瓣块体的接口处“R”部的位置覆盖有石墨纸。
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