[实用新型]薄膜样品介电性能测试台无效
| 申请号： | 200820153372.8 | 申请日： | 2008-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN201285416Y | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;宋三年;胡丹 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 雷绍宁 |
| 地址： | 200092上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜样品介电性能测试台。包括测试台本体，所述测试台本体中央设有样品台，还包括探针和控制探针移动的机械臂，所述机械臂设于测试台本体上，机械臂与探针一端连接，探针另一端在样品台上。本实用新型有三个功能：机械臂可控制探针实现三维移动操作；加热棒的运用能在高温下对薄膜样品进行测试；与显微镜的组合能对尺寸极小的样品测试。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 样品 性能 测试 | ||
【主权项】：
1. 一种薄膜样品介电性能测试台，包括测试台本体，所述测试台本体中央设有样品台，其特征在于：还包括探针和控制探针移动的机械臂，所述机械臂设于测试台本体上，机械臂与探针一端连接，探针另一端在样品台上。
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