[实用新型]光阻汲取喷头的定位装置无效

专利信息
申请号: 200820140359.9 申请日: 2008-11-12
公开(公告)号: CN201307215Y 公开(公告)日: 2009-09-09
发明(设计)人: 陈德三 申请(专利权)人: 陈德三
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 中国商标专利事务所有限公司 代理人: 万学堂;宋 迎
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型涉及一种光阻汲取喷头的定位装置,尤指一种将汲取管、回流管与加压管定位于一光阻容器的定位装置,该定位装置包含有一定位组件及一衔接件,该定位组件可定位该汲取管、回流管及加压管,该衔接件上设有一可套组于光阻容器上的螺接孔,且该定位组件是以可拆组手段设置于该衔接件上,且位于该螺接孔处,因此该衔接件的螺接孔损耗而需更换时,仅需要将衔接件与定位组件拆离,并将新的衔接件与仍可使用的定位组件相组接,所以该定位装置可拆组更换式的设计,更能节省后续使用成本并达到符合经济效益的目的。
搜索关键词: 汲取 喷头 定位 装置
【主权项】:
1、一种光阻汲取喷头的定位装置,其是将汲取管、回流管与加压管定位于一光阻容器上,其特征在于:该定位装置包含有一定位组件及一衔接件;该定位组件具有一定位板及一组接件,该定位板的中央处设有一组接孔且一侧面上设有多个定位杆,该定位板上设有多个环布该组接孔外围的结合孔及拆卸孔,该组接件是设置于该组接孔中,且该组接件上设有三个分别提供该汲取管、回流管及加压管组设的定位孔;该衔接件上设有一螺接孔、多个对位孔及多个螺孔,该螺接孔位于该衔接件的中央处,这些对位孔分别对应定位杆且提供定位杆插组,这些螺孔分别对应结合孔,且利用固定件伸入并将该定位组件组设于该衔接件上。
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