[实用新型]一种快拆式溅镀阴极

摘要

本实用新型公开了一种快拆式溅镀阴极，包括有：上本体，其具有一第一中空轴心、一套设于该第一中空轴心的上支撑轴、一活动地穿设于该上支撑轴的上遮盖固定座以及一设置于该第一中空轴心上的联轴器；靶材组，其具有一内管、一设置于该内管中的第二中空轴心、一设置于该第二中空轴心一端且在内管下方的靶材下盖、一套设于该内管外部的靶材以及一设置于该靶材上端的靶材上盖；下本体，其具有一传动轴心、一套设于该传动轴心外部的下支撑轴以及一活动地穿设于该下支撑轴的下遮盖固定座；采用上述结构，本实用新型可适用于立式溅镀设备并提升溅镀阴极装卸与溅镀靶材更换的便利性。

主权项

1、一种快拆式溅镀阴极，其特征在于，该快拆式溅镀阴极包括有：上本体，其具有第一中空轴心、一套设于所述第一中空轴心外部的上支撑轴、一活动地穿设于所述上支撑轴的上遮盖固定座以及一设置于所述第一中空轴心上并位于所述上遮盖固定座下方的联轴器；靶材组，其具有一内管、一设置于所述内管中的第二中空轴心、一设置于所述第二中空轴心一端并位于所述内管下方的靶材下盖、一套设于所述内管外部的靶材以及一设置于所述靶材上端的靶材上盖；下本体，其具有一传动轴心、一套设于所述传动轴心外部的下支撑轴以及一活动地穿设于所述下支撑轴的下遮盖固定座。