[实用新型]溅镀机真空腔抽真空装置无效
| 申请号： | 200820139273.4 | 申请日： | 2008-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN201209163Y | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 郭晓明 | 申请（专利权）人： | 广东中唱一帆科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 | 代理人： | 丁德轩 |
| 地址： | 515100广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种溅镀机真空腔抽真空装置，包括真空腔、高速分子泵、油式真空泵，其特征在于：还包括电磁阀，所述真空腔的出口连接高速分子泵，高速分子泵的出口通过导管连接油式真空泵，导管中部连接电磁阀。本实用新型对照现有技术的有益效果是，由于设有电磁阀，因此当异常停机或停电时，电磁阀就会打开，让导管与外界连通，使得油式真空泵的真空油不会沿着导管被吸入高速分子泵，能够有效地保护高速分子泵，实际使用效果好、结构简单、易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀机真 空腔 真空 装置 | ||
【主权项】：
1、一种溅镀机真空腔抽真空装置，包括真空腔、高速分子泵、油式真空泵，其特征在于：还包括电磁阀，所述真空腔的出口连接高速分子泵，高速分子泵的出口通过导管连接油式真空泵，导管中部连接电磁阀。
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