[实用新型]溅镀机的冷却装置无效
| 申请号： | 200820135887.5 | 申请日： | 2008-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN201301338Y | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 刘辛 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅镀机的冷却装置，包含有：一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及若干置物板，该防着板结构设于输送带结构两侧；该防着板结构及/或输送带结构的异于溅镀区方向的表面锁设有可拆离的冷却装置，所述冷却装置包含有一控制结构。本实用新型的有益效果为：强制冷却并可控制冷却效率，所以被镀物不致有因高温产生变形的情形，良率提升；控制降低溅镀发热，所以制程速度减缓，溅镀符合要求，制程也可以缩短。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀机 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1、一种溅镀机的冷却装置，包含有：一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及若干置物板，该防着板结构设于输送带结构两侧；其特征在于：该防着板结构及/或输送带结构的异于溅镀区方向的表面锁设有可拆离的冷却装置，所述冷却装置包含有一控制结构。
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