[实用新型]探针研磨装置有效
申请号: | 200820135792.3 | 申请日: | 2008-10-10 |
公开(公告)号: | CN201287289Y | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 李福珊;詹进在;林恒昌;邱国诚 | 申请(专利权)人: | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/16 | 分类号: | B24B19/16 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 孙长龙 |
地址: | 215217江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种探针研磨装置,用以研磨一探针座上的复数根探针。此探针研磨装置至少包含一基座、一载台以及一驱动装置。上述的基座具有一底板以及固定于该底板侧壁的一立板,且该底板上表面具有一研磨片。载台具有一第一板块、一第二板块以及一连结于该第二板块下端的固定片,其中该第一板块与该立板之间呈水平方向的滑动配合,该第二板块与第一板块之间呈垂直方向的滑动配合,而该固定片上设有该探针座。驱动装置则连结于第二板块上端,以升降该载台,并使探针座与研磨片接触而对复数根探针进行研磨。 | ||
搜索关键词: | 探针 研磨 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种探针研磨装置,用以研磨一探针座上的复数根探针,其特征在于,该研磨装置包括:一基座,具有一底板以及固定于该底板侧面的一立板,其中该底板上表面具有一研磨片;一载台,具有一第一板块、一第二板块以及一连结于该第二板块下端的固定片,其中该第一板块与该立板之间呈水平方向的滑动配合,该第二板块与第一板块之间呈垂直方向的滑动配合,而该固定片上设有该探针座;以及一驱动装置,连结于该第二板块上端以驱动该载台升降。
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