[实用新型]废气处理装置有效
申请号: | 200820114165.1 | 申请日: | 2008-05-26 |
公开(公告)号: | CN201205488Y | 公开(公告)日: | 2009-03-11 |
发明(设计)人: | 林朝晖;李沅民 | 申请(专利权)人: | 福建钧石能源有限公司 |
主分类号: | B01D53/74 | 分类号: | B01D53/74 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362000福建省泉*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种废气处理装置,所述装置包括炉体,在所述炉体内部具有由加热部件定义的高温通道,所述高温通道中装满碎块填充物,所述炉体上包括进气口和出气口,废气从进气口进入高温通道,流过所述填充物后由出气口排出,所述进气口和出气口处具有隔栅,用于限制所述填充物并允许气体流过。本实用新型的废气处理装置能够以低成本和简单可靠的方式将多种半导体生产过程中产生的废气处理为无害的物质后排放,而且具有很高的废气处理率。 | ||
搜索关键词: | 废气 处理 装置 | ||
【主权项】:
1、一种废气处理装置,所述装置包括炉体,在所述炉体内部具有由加热部件定义的高温通道,所述高温通道中装满碎块填充物,所述炉体上包括进气口和出气口,废气从进气口进入高温通道,流过所述填充物后由出气口排出,所述进气口和出气口处具有隔栅,用于限制所述填充物并允许气体流过。
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