[实用新型]一种用于直拉单晶炉热场的电极机构有效
| 申请号： | 200820109188.3 | 申请日： | 2008-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN201258367Y | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 邓德辉;方峰;郑沉;高恺;梁开金 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于直拉单晶炉热场的电极机构，它包括：电极脚，该电极脚包括：与加热器连接的部位和放置电极的部位，与加热器连接的部位相对于金属电极弯曲成一弧度，在其交界处为一平台，平台上对应于电极螺丝的上方架一石英支管，支管上搭放一石英片，石英片上架放反射板。本实用新型的优点是：有效的解决了电极与加热器尺寸之间的矛盾，还避开了上述问题中抽气孔的位置，缩小了反射板与加热器之间的距离，提高了热场的保温效果，对整个热场也没有不利的影响。同时去掉了反射板支撑，通过将耐高温的绝缘材料进行简单加工使其起到支撑的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直拉单晶炉热场 电极 机构 | ||
【主权项】：
1、一种用于直拉单晶炉热场的电极机构，其特征在于：它包括：电极脚，该电极脚包括：与加热器连接的部位和放置电极的部位，与加热器连接的部位相对于金属电极弯曲成一弧度，在其交界处为一平台，平台上对应于电极螺丝的上方架一石英支管，支管上搭放一石英片，石英片上架放反射板。
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