[实用新型]一种十二段加热区水平单晶炉加热体有效
申请号: | 200820078527.6 | 申请日: | 2008-01-14 |
公开(公告)号: | CN201172700Y | 公开(公告)日: | 2008-12-31 |
发明(设计)人: | 于洪国;赵静敏;郑安生;武壮文;王继荣;李爱兵;张海涛;袁泽海 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;国瑞电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱琨 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型属于单晶炉加热体领域,特别涉及一种十二段加热区水平单晶炉加热体。所述加热体由十二段加热区构成,每一个加热区中安装一对铂或铂铑热电偶,该热电偶通过补偿导线与外部控温设备相连接。通过控制各温区的温度,可以在单晶炉中形成优化的热场,有利于生长质量优良的单晶。本实用新型具有外延性,能适当的增加各段加热区的长度,可以适应单晶大型化的要求,提高生产率;适用面广,通过对各温区的调节,可以形成不同的热场,能适应不同杂质、不同掺杂浓度、不同直径的单晶的生长;单晶炉热场优化,有利于提高单晶的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 二段 加热 水平 单晶炉 | ||
【主权项】:
1、一种十二段加热区水平单晶炉加热体,其特征在于:所述加热体由十二段加热区构成,每一个加热区中安装一对铂或铂铑热电偶,该热电偶通过补偿导线与外部控温设备相连接。
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