[实用新型]光学元件的高精度均匀数控抛光装置

摘要

一种光学元件的高精度均匀数控抛光装置，属于光学机械制造技术领域，其特征是：A轴翻转进给系统由A轴伺服电机作为动力，通过蜗轮蜗杆副、齿轮副带动工件绕A轴作翻转运动；C轴回转进给系统由回转伺服电机作为动力，通过蜗轮蜗杆副最后带动转盘使工件绕C轴作回转运动，蜗轮蜗杆副是消隙滑块结构；动力抛光头系统中抛光模不仅可以平转动，也可以行星转动。有益效果是：改变了抛光点的位置，保证抛光位置始终处于水平状态，确定了高精度均匀数控抛光的方式，使去除函数与实际抛光加工量一致。保证去除函数的高确定性，抛光精度提高为线性趋势，加工效率提高3～5倍。

主权项

1、一种光学元件的高精度均匀数控抛光装置，其特征是：A轴翻转进给系统由A轴伺服电机作为动力，通过蜗轮蜗杆副、齿轮副带动工件绕A轴作翻转运动，在电机与蜗杆之间增加有一对减速齿轮，蜗轮蜗杆副为消隙滑块结构；C轴回转进给系统由回转伺服电机作为动力，通过蜗轮蜗杆副最后带动转盘使工件绕C轴作回转运动，蜗轮蜗杆副是消隙滑块结构；动力抛光头系统中抛光模不仅可以平转动，也可以行星转动，动力行星抛光头与抛光模之间是柔性连接，该系统采用的是四连杆平衡定位机构，压缩空气由进气口输入，通过气管输送到抛光模主轴孔内，推动柱塞对抛光模施加一定的压力，工件回转和翻转运动机构采用蜗轮蜗杆传动形式，依靠弹簧消除传动机构间隙，实现工件无间隙转动，抛光压力由精密柱塞结构实现。