[实用新型]一种基于扫描隧道显微镜的纳米级金相显微镜

摘要

本实用新型涉及一种基于扫描隧道显微镜的纳米级金相显微镜，包括目镜或数字相机设备、物镜转换器、STM探头、支架，目镜或数字相机设备固定在支架的顶部，物镜以及由物镜改装的STM探头均连接上部的物镜转换器并固定在支架上，所述STM探头由上部的压电陶瓷扫描器与下部的探针组成并通过物镜适配器固定，所述STM探头连接电子学控制及扫描单元并通过PC机显示与处理单元对其控制，下部的探针部分连接放大电路装置。本实用新型有益效果为：将光学显微技术的方便性和扫描隧道显微镜(STM)的高分辨率特点相结合，实现了金相显微镜在导电物体表面结构纳米级的分析与测量；实现了STM与光学物镜的观察连续性，极大地提高了工作效率。

主权项

1、一种基于扫描隧道显微镜的纳米级金相显微镜，包括目镜或数字相机设备(1)、物镜转换器(2)、物镜(3)、物镜(5)、STM探头(4)及支架(7)，目镜或数字相机设备(1)固定在支架(7)的顶部，其特征在于：物镜(3)、物镜(5)及STM探头(4)与物镜转换器(2)连接并被固定在支架(7)上，所述STM探头(4)由上部的压电陶瓷扫描器(9)与下部的探针(10)组成并通过物镜适配器(8)固定，所述STM探头(4)连接电子学控制及扫描单元(12)，探针(10)连接放大电路装置(11)，探针(10)的内端通过针管(14)固定在连接器(15)；所述压电陶瓷扫描器(9)内设有扫描管外壳(18)，扫描管外壳(18)的内部设有压电陶瓷管(19)，压电陶瓷管(19)的端部连接内部支架(20)，所述压电陶瓷管(19)的下端设有避震环(17)，避震环(17)的外部设有高硬铝适配器(16)。