[实用新型]复合同步超声频振动微细电解加工装置

摘要

本实用新型公开了一种复合同步超声频振动微细电解加工装置，通过微压力调节装置保持工件与微细阴极之间微压力接触，通过激光微位移传感器对微细阴极的超声频振动位置进行动态快速测量，并将其转换为包含超声振动频率、相位、幅值的电信号，传送到斩波电路处理、转换，产生通断电解电源的斩波信号，实现电解加电与阴极超声频振动的精确同频、同步，通过电流传感器将电解电流转换为电压信号，由数字存储示波器进行显示、测量、存储，再传送到控制计算机进行超声参数和电参数的自动调节。该装置将微细电解与超声频振动同频、同步有机结合，依靠超声频振动作用消除电解钝化，提高了加工精度与表面质量，降低成本，可实现任意型面微结构的微细加工。

主权项

1. 一种复合同步超声频振动微细电解加工装置，包括：超声频振动单元，包括超声波发生器、压电式换能器及振动辐射头，超声波发生器产生连续可调超声频交变电信号，通过压电式换能器与振动辐射头转换放大后连接微细阴极，微细阴极加工端面产生同频超声频机械振动；微细电解加工单元，包括微细阴极、电解液及电解电源，微细阴极与工件间充满低浓度、钝化性电解液，电源正负极分别与工件及微细阴极连接；其特征是，该复合同步超声频振动微细电解加工装置还包括：激光微位移传感器单元，对微细阴极的超声频振动位置进行动态快速测量，并将其转换为包含超声频振动频率、相位、幅值信息的电信号；电解电源斩波单元，激光微位移传感器的电信号传送到斩波器产生切断与开通电解电源的斩波信号，对电解回路进行开通与关断，使电解加电与阴极超声频振动实现同频、同步；微压力调节单元，利用精密微细砝码组合，通过连通器压力油保持工件与微细阴极之间恒定的微接触压力；电参数测量、显示、控制单元，包括电流传感器、数字存储示波器及控制计算机，电流传感器将电解电流转换为电压信号，由数字存储示波器进行显示、测量、存储，由串行口传送到控制计算机中，控制计算机自动调节、控制超声发生器的激振电容，改变超声频交变电信号振荡频率，激励超声振动系统达共振状态。