[实用新型]多晶硅铸锭用高纯石英坩埚专用烧结炉

摘要

本实用新型涉及太阳能多晶硅铸锭用高纯石英坩埚专用烧结炉。它包括炉体、同步升降系统、加热系统、可控降温系统、台车和轨道构成，它有一个可升降钟罩型炉体，炉体内部为方型，所述炉体罩在可水平运动的台车上，坩埚水平摆放在台车上，所述炉体内部四周及顶部镶嵌螺旋型加热丝，炉体内沿垂直方向设置不同加热区，炉体下部有进气管，上部有排气管，炉体外壳与同步升降装置连接。炉体采用同步升降系统，靠炉体重量密封，提高密封效果和温度均匀性；炉膛顶部布置加热元件，加强了顶部远红外线辐射，使坩埚水平放置，避免坩埚应力产生；自动程序降温系统，提高了自动化程度；轻质耐火材料的选用，节能效果显著。

主权项

1、一种多晶硅铸锭用高纯石英坩埚专用烧结炉，它包括炉体(1)、同步升降系统(2)、加热系统(3)、可控降温系统(4)、台车(5)和轨道(6)构成，其特征在于：炉体(1)为一个可升降钟罩型炉体，炉体(1)内部为方型，炉体罩在可水平运动的台车(5)上，坩埚(7)水平摆放在台车上，炉体(1)内的加热系统(3)其设置多个温区采用五面加热，加热元件(3a)分别布置在炉体(1)四周和顶部，加热元件(3a)在同一平面内均匀布置，高度方向呈现下密上疏的规律分布，炉体(1)顶部的加热元件(3a)，其外套碳化硅管(3C)内，炉体(1)与同步升降系统(2)用关节轴承铰接连接，同步升降系统(2)单独两套液压单元或两套机械升降装置组成，同步升降系统(2)中油缸(2a)驱动炉体(1)，实现炉体(1)同步升降，同步升降系统(2)用螺钉固定在轨道(6)上，可控降温系统(4)中伺服减速电机(4a)、调频风机(4b)、电动阀门(4c)、排气阀门(4d)、进气管(4e)与炉体(1)连接，加热系统(3)中加热元件(3a)、温度传感器(3b)布置在炉体(1)内，台车(5)上摆放坩埚(7)。