[实用新型]一种用于激光加工的真空装置

摘要

本实用新型公开了一种用于激光加工的真空装置，为了解决众多金属材料无法在无保护状态下进行激光加工的问题，提供如下解决方案：该装置主要由真空箱本体、与之配套的抽真空、充气组件以及将它们控制连接的工业控制计算机构成。可实现在真空环境下或在保护气环境下进行二维平面内的激光加工操作。有益效果：采用硒化锌透镜激光窗口，激光吸收率低、可透性好、使用寿命长；采用罗茨式真空泵与旋转式机械泵抽真空效率提高，可提高激光加工效率和质量；采用真空传感器和真空压力表读取真空箱内的真空度，操作方便，可靠性高，有利于保证激光加工质量；采用计算机控制管理，操作方便、界面友好，对激光加工的自动化程度、性能稳定性和可靠性大大提高，也便于与其它系统的集成与控制。

主权项

1、一种用于激光加工的真空装置，它包含于激光加工设备系统之中，其特征在于：在所述激光加工设备上配有激光加工的真空装置，该装置主要由真空箱本体、与之配套的抽真空、充气组件以及将它们控制连接的工业控制计算机(1)构成；所述真空箱本体内的工作台组件(3)置于底座组件(2)上，通过真空箱体组件(9)和真空箱盖组件(7)将其密封于箱体内；在所述真空箱盖组件(7)上还设有真空箱窗口组件(8)；所述抽真空、充气组件，通过真空传感器连接口(35)与真空传感器(5)连接，真空传感器(5)再与真空测控仪(4)连接；通过真空抽气口(39)与箱体外部的罗茨式真空泵(14)和旋转式机械泵(16)连接；所述工业控制计算机(1)通过真空测控仪(4)与真空传感器(5)电连接；通过运动控制卡与电磁放气阀(10)、电磁充气阀(11)、罗茨式真空泵(14)、电磁隔离阀(15)及旋转式机械泵(16)电连接；以及通过工作台组件(3)上的X轴驱动器和Y轴驱动器分别与X轴步进电机和Y轴步进电机电连接。