[发明专利]补正板形变监测系统无效

专利信息
申请号: 200810301734.8 申请日: 2008-05-23
公开(公告)号: CN101586232A 公开(公告)日: 2009-11-25
发明(设计)人: 简士哲 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52;C23C14/54;G01B7/16
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种补正板形变监测系统,其包括:一个传感元件,其固定在补正板的本体上,用于感测该补正板发生的形变并将其转化为电信号;一个处理器,该处理器预先存储有补正板形变参考值,该处理器包括:一个放大模块,其与该传感元件电性连接,用于放大该电信号;一个转换模块,用于将该电信号转换为该补正板的形变量;一个比较模块,用于将所获得的形变量与补正板形变参考值进行比较并判断;及一个报警器,与该处理器电性连接,当该比较模块判断该形变量大于该补正板形变参考值时,该报警器触发并进行报警。本发明的补正板形变监测系统可及时通知使用者更换补正板,避免了因使用不符合规格的补正板造成的镀膜不良。
搜索关键词: 补正 形变 监测 系统
【主权项】:
1.一种补正板形变监测系统,其特征在于,其包括:一个传感元件,固定在补正板的本体上,其用于感测该补正板发生的形变并将其转化为电信号;一个处理器,该处理器预先存储有补正板形变参考值,该处理器包括:一个放大模块,其与该传感元件电性连接,用于放大该电信号;一个转换模块,用于将该电信号转换为该补正板的形变量;一个比较模块,用于将所获得的形变量与补正板形变参考值进行比较并判断;及一个报警器,与该处理器电性连接,当该比较模块判断该形变量大于该补正板形变参考值时,该报警器触发并进行报警。
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