[发明专利]成像装置

摘要

一种成像装置，包括成像部、控制部、检测部和校正部。所述的成像部在物体上形成图像。所述的控制部控制成像部在物体上形成校对图案。所述的校对图案包括第一组内的多个标记和第二组内的多个标记。所述第一组和第二组每一组中的多个标记在第一方向上都排列在预定范围内。所述第一组和第二组每一组中的多个标记都包括第一标记和第二标记。至少在部分预定范围内，第一组中的第一标记在不同于所述第一方向的第二方向上与第二组的第二标记相对应。至少在部分预定范围内，第二组中的第一标记在所述第二方向上与第一组的第二标记相对应。所述的检测部检测形成在物体上的第一标记以及第二标记。所述的校正部基于检测到的第一标记校正成像位置在第一方向上的偏差，基于检测到的第二标记校正成像位置在第二方向上的偏差，所述的成像位置是指成像部形成图像的位置。

主权项

1. 一种成像装置包括：成像部，用于在物体上形成图像；控制部，用于控制所述的成像部在所述的物体上形成校对图案，所述的校对图案包括第一组内的多个标记和第二组内的多个标记，所述第一组和第二组每一组中的多个标记都沿第一方向排列在预定范围内，所述第一组和第二组每一组中的多个标记都包括第一标记和第二标记，至少在部分所述的预定范围内，所述第一组中的第一标记在不同于所述第一方向的第二方向上与所述第二组的第二标记相对应，至少在部分所述的预定范围内，所述第二组中的所述第一标记在所述第二方向上与所述第一组的第二标记相对应；检测部，用于检测形成在所述物体上的第一标记和第二标记；以及校正部，用以基于检测到的第一标记、校正成像位置在第一方向上的偏差，基于检测到的第二标记、校正成像位置在第二方向上的偏差，所述的成像位置是指所述的成像部形成图像的位置。