[发明专利]压印装置有效
| 申请号： | 200810211441.0 | 申请日： | 2008-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN101398619A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 朴春成;吴相泽;申泰炅;李真香;郑昌镐;李宰一 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄 威;张 彬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种可通过简单的方式在平板显示元件用的基板上形成蚀刻区与非蚀刻区的压印装置。该装置包括：框架；腔室，具有第一腔壳与第二腔壳，所述第一腔壳与第二腔壳设置在所述框架上的上、下两个位置上，所述两个腔壳通过结合或分离动作，形成一可以开放的密封空间；软模，具有用于区分蚀刻区与非蚀刻区域的图案面，位于所述腔室的密封空间内；载物台，具有用于装载基板的装载面，在所述腔室的密封空间内相对于所述软模做上下运动；及硬化机构，从位于所述载物台的基板一侧向另一侧移动的同时照射紫外线。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 | ||
【主权项】：
1、一种压印装置，包括：框架；腔室，具有第一腔壳与第二腔壳，所述第一腔壳与第二腔壳设置在所述框架上的上下两个位置上，通过结合或分离动作形成一可以开放的密封空间；软模，具有用于区分蚀刻区与非蚀刻区域的图案面，位于所述腔室的密封空间内；载物台，具有用于装载基板的装载面，在所述腔室的密封空间内相对于所述软模做上下运动。
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