[发明专利]一种锯齿形流道单向压电微泵无效
| 申请号： | 200810203962.1 | 申请日： | 2008-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101424262A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 张国贤;关炎芳 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种锯齿形流道单向压电微泵。它包括泵体、泵盖和驱动装置，泵盖上开有泵腔、流体进、出口锯齿形流道等结构，泵盖上开有进口与出口，泵体与泵盖键合在一起，驱动装置由PDMS压电薄膜和压电陶瓷片粘结在一起，PDMS薄膜与泵体采用不可逆粘结法粘结在一起。本发明的微泵体积小、结构简单、操作方便，适合批量化生产，并且由于没有移动部件，微泵寿命相对较长。本发明的产品可广泛用于仪器仪表、医疗器械、化学分析、药物食品以及航空航天等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锯齿形 单向 压电 | ||
【主权项】：
1. 一种锯齿形流道单向压电微泵，包括泵体(1)、泵盖(8)和驱动装置，其特征在于：a. 所述泵体(1)上开有一个进口腔(6)、一个泵腔(4)和一个出口腔(10)，所述泵腔(4)与进口腔(6)和出口腔(10)之间分别由一条进口锯齿形流道(5)和出口锯齿形流道(11)沟通；b. 所述泵体(1)与泵盖(8)键合成一体，泵盖(8)上有进口(7)和出口(9)分别接通泵体(1)的进口腔(6)和出口腔(10)；c. 所述驱动装置的结构是：一片柔性薄膜(2)粘贴在所述泵体(1)的下面，所述柔性薄膜(2)的下面正对准所述泵腔(4)的下方，粘贴一片压电陶瓷片(3)。
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