[发明专利]用于纳米压印的真空模压装置无效
| 申请号： | 200810202317.8 | 申请日： | 2008-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101393392A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;张冠;孙健;陈少军 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种材料制备技术领域的用于纳米压印的真空模压装置，拉伸试验机、精密模具固定系统、温度控制系统、基底、真空压缩机、真空罩，其中，真空罩与基底之间密封结合，真空压缩机与真空罩之间连通，精密模具固定系统由活塞和导轨组成，活塞在导轨内上下滑动，活塞与拉伸试验机中的驱动装置相连，并能沿拉伸试验机的滑槽滑动，导轨的一个侧面固定在拉伸试验机的外壳上，导轨另一侧穿过真空罩的侧壁，并与真空罩之间密封，导轨的底部与基底之间留有空隙以放置硅片，温度控制系统固定在基底上，负责对真空罩内的温度进行控制。本发明使纳米压印过程能顺利精密地完成，其压印的图形最高分辨率可达到20nm。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 压印 真空 模压 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于纳米压印的真空模压装置，其特征在于，包括：拉伸试验机、精密模具固定系统、温度控制系统、基底、真空压缩机、真空罩，其中，真空罩与基底之间密封结合，真空压缩机与真空罩之间连通，精密模具固定系统由活塞和导轨组成，活塞在导轨内上下滑动，活塞与拉伸试验机中的驱动装置相连，并能沿拉伸试验机的滑槽滑动，导轨的一个侧面固定在拉伸试验机的外壳上，导轨另一侧穿过真空罩的侧壁，并与真空罩之间密封，导轨的底部与基底之间留有空隙以放置硅片，温度控制系统固定在基底上，负责对真空罩内的温度进行控制。
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