[发明专利]一种恒温控制装置有效
| 申请号： | 200810200084.8 | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101364116A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 余斌;陈勇辉;聂宏飞;余小虎;黄友任;金敏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/13 | 分类号： | G05D23/13;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种恒温控制装置，对流体介质通过加热、冷却处理后的充分混合来控制流体介质温度恒定。本发明通过在装置外部设置制冷器、内部设置加热器和混合区，同时在装置外部设置隔离区等技术手段，解决了外界温度环境对装置内部流体温度的热传导所带来的干扰以及流体介质混合不均匀造成的温度波动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 恒温 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种恒温控制装置，通过对流体介质进行冷却和加热处理，来控制流体介质温度恒定，其特征在于：该装置外部设有制冷器，内部设有加热器，装置内腔包括加热区，其中设置有加热器，用于加热流经的流体介质；还包括混合区，用于混合不同温度的流体介质。
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